معزز جذور المحرك المغناطيسي بدون تسرب

يستخدم معزز جذور المحرك المغناطيسي Zero Leakage ناقل حركة مغناطيسي محكم الغلق لنقل عزم الدوران بين المحرك وغرفة الضخ. من خلال التخلص من أختام العمود الديناميكي التقليدية، يزيل هذا التصميم مسار التسرب الأساسي المتأصل في معززات المحرك الميكانيكية القياسية-، مما يمنع تلوث غاز العملية ودخول الغلاف الجوي.

تم تصميم هذا النظام كمعزز عالي السعة- لمضخات الدعم الأولية، وهو يعمل على تحسين سرعة الضخ والأداء النهائي للتفريغ عبر عمليات أشباه الموصلات والكيميائيات والتعدين والطلاء الصناعي.

تعتبر المعلمات التالية بمثابة خط الأساس للتقييم الفني واختيار النموذج:

القضاء على أختام العمود الديناميكي
تعتمد معززات الجذور القياسية على موانع التسرب الميكانيكية الديناميكية، والتي تتآكل تدريجيًا بسبب الاحتكاك والتمدد الحراري والتحلل الكيميائي.
يعمل نظام المحرك المغناطيسي على التخلص من نقطة الفشل هذه عن طريق استخدام غلاف احتواء ثابت (علبة):
نقل عزم الدوران: تعمل المغناطيسات الخارجية على دفع المغناطيسات الداخلية عبر حاجز صلب وغير مغناطيسي-بدون اتصال مباشر.
الختم المحكم: يحول الختم الديناميكي إلى ترتيب ختم ثابت، مما يمنع تسرب العمود ويحمي نقاء العملية.
معايير التسرب القابلة للقياس
في الهندسة الفراغية العالية-، يشير مصطلح "التسرب الصفري" إلى معيار قبول صارم وقابل للقياس وليس إلى ادعاء تسويقي لم يتم التحقق منه.
ضمان الجودة: يتم اختبار كل وحدة في المصنع-تحت فراغ ديناميكي باستخدام أجهزة كشف تسرب مطياف كتلة الهيليوم (HMSLD) للتأكد من التوافق مع حدود معدل تسرب الهيليوم3. . ويتم تضمين شهادات الاختبار مع وثائق الإرسال.

يعد معزز المحرك المغناطيسي مثاليًا للتطبيقات التي تتطلب احتواءًا صارمًا للغاز، أو عزل المواد السامة، أو ظروفًا- فائقة النظافة:
أشباه الموصلات والإلكترونيات:ترسيب PVD/CVD، والحفر، وسحب البلورات، ومعالجة الرقاقات التي تتضمن -نقاوة عالية أو غازات تفاعلية.
المعالجة الكيميائية والصيدلانية:استخلاص المذيبات، والتقطير الفراغي، والتفريغ الحراري، واستخلاص البخار العدواني.
طلاء الفراغ والمعادن:الطلاء البصري، ولحام شعاع الإلكترون-، والصهر بالحث الفراغي (VIM)، وأفران المعالجة الحرارية الصناعية.
استرداد-الغاز عالي القيمة:إعادة تدوير-حلقة مغلقة للغازات النادرة أو باهظة الثمن، بما في ذلك الهيليوم (He)، والأرجون (Ar)، وسداسي فلوريد الكبريت (SF6).

يتطلب اختيار معزز Roots الأمثل تقييم نظام التفريغ بأكمله بدلاً من الاعتماد فقط على سرعة الضخ الاسمية.
حساب سرعة ضخ الهدف:تحديد السرعة الفعالة بناءً على إجمالي حجم الغرفة، ووقت الإخلاء المطلوب، وتدفق غاز العملية، وإطلاق الغازات من النظام.
مطابقة مضخة الدعم:تأكد من أن المضخة الخلفية توفر إنتاجية كافية للتعامل مع التفريغ من المعزز دون تجاوز الحدود القصوى للضغط التفاضلي.
مراجعة وسائط العملية:حدد الغازات المحملة بالتآكل أو السامة أو القابلة للتكثيف أو الجسيمات-لتحديد طبقات الطلاء الدوار المناسبة (مثل PTFE أو طلاء النيكل)، أو تكوينات صابورة الغاز، أو وحدات ترشيح المدخل.

الآلات الدقيقة:تحافظ عملية الطحن باستخدام الحاسب الآلي على -إحكام شديد للدوار-على-خلوصات المبيت، مما يؤدي إلى تحسين الكفاءة الحجمية دون الاتصال الميكانيكي.
التوازن الديناميكي:تخضع الدوارات لموازنة ديناميكية وفقًا لمعايير ISO 1940 G1.0 لضمان انخفاض الاهتزاز وعمر المحمل الطويل.
سلامة اقتران:تم اختبار مجموعات المحرك المغناطيسي على -الإجهاد-الحراري لضمان عدم الانزلاق تحت حمل التشغيل الكامل.

الوسم : صفر تسرب جذور محرك مغناطيسي معززة، الصين صفر تسرب جذور محرك مغناطيسي معززة المصنعين والموردين والمصنع